Pioneer 180 PLD System

Pioneer 180 PLD System-ը ապահովում է դաշտում ապացուցված լազերային նստվածք, որը թույլ է տալիս վերջնական օգտագործողին տեղադրել բարձրորակ էպիտաքսիալ թաղանթներ, միաշերտ առ միաշերտ, ինչպես նաև տարբեր նյութերի բազմաշերտ հետերկառուցվածքներ և գերվանդակներ սուբստրատների վրա և համակցված աճի ռեժիմների վրա:

Հատուկ առանձնահատկություններ:

Անջատված բանալի PLD համակարգ:
Էպիտաքսիալ թաղանթների, բազմաշերտ հետերոկառուցվածքների և գերվանդակների նստեցում:
Նանոմաշտաբի բարակ թաղանթների նստեցում՝ օգտագործելով insitu RHEED ախտորոշումը:
Թթվածնի համատեղելիությունը օքսիդի թաղանթի նստվածքների համար:
Թարմացումներ՝ իոնային օժանդակությամբ PLD, համակցված PLD, թիրախային-սուբստրատի բեռնվածքի կողպեքներ:
Լրացուցիչ նստեցման աղբյուրներ՝ իմպուլսային էլեկտրոնի նստվածք (PED), RF/DC Sputtering, DC ion guns:
Ինտեգրում XPS/ARPES UHV Cluster գործիքների հետ, ներկառուցված UHV վաֆլի փոխանցում:
Insitu ախտորոշում. ցածր անկյան ռենտգենյան սպեկտրոսկոպիա (LAXS) և իոնային էներգիայի սպեկտրոսկոպիա (IES):