PECVD tube furnace with roll to roll system

Գործիքը պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման սարք է (PECVD), որը հագեցած է «roll-to-roll» շարժման համակարգով: Այն ոչ միայն օգտագործվում է մետաղալարերի շարունակական ջերմամշակման գործընթացում, ինչպիսիք են ածխածնային մանրաթելերի պատրաստումը, համաձուլվածքի և այլ նյութերի մետաղաձողերի ձևափոխումը, այլ նաև օգտագործվում է կծիկի վրա գրաֆենի շարունակական աճի համար:

Սարքավորումը բաղկացած է հինգ մասից՝ պտտվող շարժման համակարգ, 1200℃2-ջեռուցման գոտու բաց խողովակային վառարան, PE պլազմայի ուժեղացման համակարգ, վակուումային համակարգ և եռալիք զանգվածային հոսքաչափ գազի խառնիչ համակարգ: Ամբողջ մեքենան կարող է աշխատել վակուումի / մթնոլորտի պաշտպանության միջավայրում:

Փաթաթման սարքի արագությունը կարող է ճշգրտվել 1-ից մինչև 400 մմ / րոպե, իսկ մեխանիզմը ընդունում է հետադարձ կապի ճշգրտում, որը կարող է ավտոմատ կերպով շտկել արագության շեղումը և ապահովել նմուշի արագության կայունությունը, դրանով իսկ ապահովելով փորձի ճշգրտությունը: